금호석유화학

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H
BARC
Bottom Anti-Reflection Coating
반도체 소자의 패턴의 크기가 작아짐에 따라 노광 공정이 진행되는 동안 반사율이 최소 1% 미만으로 유지되어야 균일한 패턴을 형성할 수 있으며 또한 적절한 공정 마진을 얻어 원하는 수율을 달성할 수 있습니다. 본 제품은 리소그래피를 이용한 패턴 형성 중 노광시 하부막층에 의한 빛의 반사를 방지하고 정제파를 제거할 수 있는 흡광제 및 이를 포함하는 유기 반사 방지막입니다.

용도

  • 메모리 반도체
  • 비메모리 반도체
  • 파워칩 반도체

특징

  • 높은 광 흡수성 및 가격 경쟁력 우수, 다양한 물성 특징을 갖는 제품 보유

제품분류EXPAND All

BARC
테이블
Category Grade n/k value@ 193nm Bake Temp. (℃/sec)
BARC ArF High k grade 1.64/0.51 230℃/60sec
ArF Low k grade 1.73/0.30 230℃/60sec
BARC_KrF
테이블
Category Grade n/k value@ 248nm Bake Temp. (℃/sec)
BARC_KrF KrF 1.53/0.42 205~230℃/60sec

담당자

테이블
영역 지역 이름 TEL EMAIL
영업 이진한 02-6961-2003 mail
기술지원 한은희 041-423-3234 mail
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